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系列 截面 测量长度 精度 信号 分辨率可达 型号 增量式 EXA 系列敞开尺 70 mm up to 16 020 mm ± 10 μm/m 1 Vpp 0,1 μm TA + L2RP / L2SP TTL 5 μm TA + L2RD / L2SD TTL 1 μm TA+ L2RX / L2SX TTL 0,5 μm TA + L2RY / L2SY TTL 0,1 μm TA + L2RW / L2SW TTL 0,1 μm TA + L2RW1/L2SW1 增量式 EXG 系列敞开尺 240 mm up to 6.040 mm ± 10 μm/m 1 Vpp 0,1 μm PG + TG + L2RP / L2SP TTL 5 μm PG + TG + L2RD / L2SD TTL 1 μm PG + TG + L2RX / L2SX TTL 0,5 μm PG + TG + L2RY / L2SY TTL 0,1 μm PG + TG + L2RW / L2SW TTL 0,1 μm PG + TG + L2RW1/L2SW1 增量式 EXT 系列敞开尺 140 mm up to 30.040 mm ± 5 μm/m 1 Vpp 0,1 μm PT + TT + L2RP / L2SP TTL 5 μm PT + TT + L2RD / L2SD TTL 1 μm PT + TT + L2RX / L2SX TTL 0,5 μm PT + TT + L2RY / L2SY TTL 0,1 μm PT + TT + L2RW / L2SW TTL 0,1 μm T + TT + L2RW1/L2SW1

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