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準モデルのリニアスケールとロータリーエンコーダ

シリーズ セクション 測定長 精度 信号 ピッチ 最大分解能 モデル F Series 440 mm - 30 m ± 5 µm TTL 5 µm FT / FOT TTL differential 1 µm FX / FOX 1 Vpp Up 0,1 μm FP / FOP C Series 220 mm - 3 040 mm ± 10 µm TTL 5 µm CT / COT ± 5 µm TTL differential 1 µm CX / COX 1 Vpp Up 0,1 µm CP / COP M/M2 Series 40 mm - 1 540 mm ± 10 µm TTL 5 µm MT / MOT 70 mm - 1 540 mm TTL differential M2TD TTL MKT ± 5 µm TTL differential 1 µm M2X / M2OX ± 10 µm MKX ± 5 µm 1 Vpp Up 0,1 µm M2P / M2OP MM/MM2 Series 40 mm - 520 mm ± 10 µm TTL 5 µm MMT 120 mm - 520 mm MMKT ± 5 µm TTL differential 1 µm MM2X/MM2OX ± 10 µm MMKX ± 5 µm 1 Vpp 0,1 µm MM2P/MM2OP

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